大家好,今天小編關注到一個比較有意思的話題,就是關于精密機械加工競賽的問題,于是小編就整理了1個相關介紹精密機械加工競賽的解答,讓我們一起看看吧。
中國目前光刻機處于怎樣的水平?
日前(2020/05/14),全球芯片制造設備巨頭阿斯麥(ASML))公司與無錫高新區(qū)簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議。原以為這是引領核心技術產業(yè)發(fā)展的一面旗幟?但只是一場美麗的誤會,ASML只是在無錫升級光刻設備技術服務基地。
若設備進口不算,還停留在實驗室階段的也不算,實際上代表國產光刻機最高水平的目前還仍是上海微電子的90nm制程工藝。
那為什么會有人認為咱們光刻機已經進入了22nm時代?甚至說5nm工藝?
其實是誤解。關于5nm的說法其實是刻蝕機技術,并非光刻機。早在2018年的時候,中微半導體就宣布掌握了5nm刻蝕機技術,還通過了臺積電5nm工藝校驗。
但是,光刻機國產化進程顯然要比刻蝕機要緩慢太多!22nm時代至多是踏入了半只腳。
2018年11月,中科院光電所經過7年研發(fā),成功驗收了“超分辨光刻裝備項目”。據(jù)悉,這是世界上首臺分辨力最高的紫外超分辨光刻裝備,能夠實現(xiàn)22nm光刻工藝。
4月份上海微電子也宣布實現(xiàn)了22nm光刻機的研發(fā)突破。但就沒有透露其它的細節(jié)信息。這樣也只能是用“停留”在試驗室來定論了,畢竟目前看來光刻機22nm節(jié)點離商業(yè)化落地還較遠,短時間內無法迅速落地并進行生產。
關于國產光刻機目前處于什么水平,網(wǎng)上的各種消息讓人搞的有點亂。一邊有人說我們的光刻機仍然處于90nm水平,一邊又有人說我們的光刻機已經處于5nm水平了,國產光刻機究竟什么水平?
關于這個90nm和5nm水平,大部分是混淆了兩個機器,雖然這兩個機器名字只有一字之差,但是它所代表的意義就大不相同。
國產光刻機水平:目前是90nm水平,其它更加先進的仍舊處于實驗室階段,想要實現(xiàn)商用還需要很長一段時間。
2018年時中科院的“超分辨光刻裝備研制”通過驗收,它的光刻分辨力達到22nm,結合雙重曝光技術后,未來還可用于制造10nm級別的芯片。
但是這也是僅僅處于實驗室階段,也就是想要真正的投入商用還是需要很長一段時間。
國產蝕刻機水平:中微半導體做的蝕刻機已經達到了5nm水平,也得到了臺積電的相關認證,可以說是非常領先的。
這里大部分人就是混淆了這個光刻機和蝕刻機兩個概念,雖然它們只有一字之差,但是意義卻大不相同。全球能做頂級蝕刻機的有好幾家,而能做最頂級光刻機的只有荷蘭的ASML一家。
在芯片生產過程中,光刻機相當于在一塊晶圓上復印了一張畫的圖案(也就是芯片內部電路圖的圖案)而蝕刻機作用就是把光刻機復印的圖案進行雕刻。
相比于光刻機,蝕刻機的地位并不是非常的重要,因為全球范圍能做頂級蝕刻機的有好幾家廠商,能做頂級光刻機的只有ASML一家獨大。佳能和尼康也可以做光刻機,但是與ASML根本不是一個級別的。
可以說在芯片生產過程中,光刻機相當于一個人體的頭部起著控制作用,而蝕刻機只能說是人體的四肢。腦部有選擇性,它可以不用你這個四肢,也就是換用其它家的頂級蝕刻機,而光刻機就獨此一家。
我國的光刻機技術仍然處于低端水平,上海微電子的光刻機代表我國光刻機的最高水平,制程工藝為90nm,而ASML的光刻機已經進入5nm的制程工藝,我國的高端光刻機全部依靠進口。下文具體說一說。
光刻機的技術門檻極高,可以說是集人類智慧大成的產物。
ASML的光刻機超過90%的零件向外采購,整個設備采用了全世界上最先進的技術,是多個國家共同努力的結果,比如德國的光學設備和精密機械,美國的計量設備和光源設備。一臺7nm EUV光刻機包含了5萬多個零件,13個系統(tǒng),需要把誤差分散到這個13個子系統(tǒng)中,所以每個配件必須得非常精準。
最關鍵的是生產光刻機所需的關鍵零件,對我國是禁運的,所以制約了我國光刻機技術的發(fā)展。
目前,全球光刻機領域的龍頭老大是荷蘭的ASML,占領了80%的市場,日本的尼康和佳能已經被ASML完全擊敗。最先進的EUV光刻機,只有ASML能夠生產。大家所使用的的手機的處理器、電腦的CPU,大部分是ASML的光刻機制造出來的。
ASML的7nm EUV光刻機已經非常成熟,華為的麒麟980處理器、蘋果的A12處理器、高通的驍龍855處理器均是有臺積電代工使用ASML的7nm 光刻機生產的。據(jù)說,ASML已經開始生產5nm制程的光刻機。
到此,以上就是小編對于精密機械加工競賽的問題就介紹到這了,希望介紹關于精密機械加工競賽的1點解答對大家有用。