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光刻機(jī)中的雙工作臺的核心部件是什么?
光刻機(jī)中的雙工作臺的核心部件是電機(jī)。
華卓精科的雙工件臺樣機(jī),通過了國家科技重大項目的驗收,中國也成為繼荷蘭之后第二個掌握光刻機(jī)雙工件臺技術(shù)的國家。華卓精科的雙工件臺運用磁懸浮平面電機(jī)方案,可以利用磁懸浮電機(jī)驅(qū)動超精密的乘片臺,最高能實現(xiàn)納米級分辨率的套刻精度。1.7納米的華卓精科工件臺結(jié)合28納米沉浸式光刻機(jī),在理論上可以經(jīng)過多重曝光實現(xiàn)7納米芯片的制造。
中國制造“航母“導(dǎo)彈“衛(wèi)星“華為基站,為什么制作不出光刻機(jī)?
主要是因為“光刻機(jī)的制造難度太大了”!
類似導(dǎo)彈,衛(wèi)星,航母是可以憑一國之力制造出來的,對極精密加工,高精度控制技術(shù)的要求不是很嚴(yán)格。而先進(jìn)的EUV光刻機(jī)是集美,德,日,歐等發(fā)達(dá)國家的最先進(jìn)技術(shù)制造出來的,對高精度加工,極精密控制技術(shù)有較高的要求。由此可見,先進(jìn)的EUV光刻機(jī)的制造難度比火箭,導(dǎo)彈,航母難,而難點主要就在各種極精密部件的制造上。要制造出這些部件,需要掌握最先進(jìn)的加工技術(shù),而這些超精密的加工技術(shù)正是國內(nèi)目前所欠缺的。
導(dǎo)彈,衛(wèi)星,航母相對來說對高精密加工技術(shù)要求沒那么高,誤差控制也沒有達(dá)到納米級別,主要對一個國家得重工業(yè)和材料技術(shù)要求較高。也就是說,我國在重工業(yè)領(lǐng)域,材料科學(xué)的發(fā)展上與國際最先進(jìn)水平相比差距沒有精加工技術(shù)那么大。所以說,制造導(dǎo)彈,衛(wèi)星,航母對我過來說相對EUV光刻機(jī)較為容易。
制造光刻機(jī)必須突破的技術(shù)
EUV光源,反光鏡,雙工件臺,掩膜臺,光刻膠等一系列設(shè)備。就拿老梗光源和反光鏡來說吧。ASML制造的光刻機(jī)使用了波長為13.5納米的EUV光源,該光源主要由二氧化碳激光發(fā)生器發(fā)出的激光必須分秒不差的擊中,每秒下落50000滴的錫滴靶,以產(chǎn)生光源。另外,被激光擊中的錫滴靶還不能污染周邊的設(shè)備,如何清潔散落的錫滴又是個難點。而波長為13.5納米的光源極其容易被玻璃,空氣所吸收,所以光源經(jīng)過的路徑上都必須是真空的。
接著就是反光鏡了,EUV光刻機(jī)用的鏡頭與DUV可不同,DUV用的是透鏡,而EUV用的是反光鏡,這種反光鏡的表面鍍上80多層由硅和鉬制成的厚度為納米級的薄膜。此外,對反光鏡的表面不平度也有較高的要求,其最高點與最低點的高度差也是納米級別的。本來光源發(fā)射出的光波的功率就不大,在經(jīng)過反光鏡后還會損失部分能量,經(jīng)過10多個反光鏡反射后的光波的功率也衰減較大。所以說,反光鏡的制造技術(shù)難度較大。
另外,就是雙工件臺了。雙工件臺的移動精度誤差也是在納米級別的。雙工件臺可以提高光刻機(jī)制造芯片的效率,其大致的工作原理就是:兩個工件臺同時運行,在曝光一個工件臺上的晶圓時,另一個工件臺就對晶圓做測量等曝光前的準(zhǔn)備工作。當(dāng)一個工件臺上的晶圓曝光完成之后,兩個工件臺交換位置,從而提高了光刻機(jī)的工作效率。目前也只有ASML和華卓精科突破了雙工件臺的制造技術(shù)。
航母,導(dǎo)彈,衛(wèi)星的制造技術(shù)
這些武器裝備主要對重工業(yè)和材料要求較高,制造航母甲板需要用到高強(qiáng)度,耐腐蝕,耐高溫,高韌性,高抗爆炸性的鋼板。迄今為止可以制造出這種鋼板的國家極少,也只有五常和日德等國可以制造出來,即便是印度的航母也是從俄羅斯進(jìn)口的鋼材。而導(dǎo)彈對復(fù)合材料,火箭發(fā)動機(jī),固體燃料技術(shù)要求較高。
綜合來看,我國在重工業(yè)的發(fā)展上并沒有明顯的短板,但是在精加工上短板就太大了,像醫(yī)院用到的各種儀器,電子掃描顯微鏡等高端儀器對進(jìn)口設(shè)備依賴比較嚴(yán)重。而光刻機(jī)正好需要精加工技術(shù)得支持,這也是EUV光刻機(jī)在短時間內(nèi)制造不出來的原因。
根本就沒有想過這玩意兒,我們買去用,就成產(chǎn)品多么方便,突然人家使壞,才感覺危機(jī),和后來的四伏,來不急了,這個怎么說,等于人家是戰(zhàn)略考慮,突然抽板,我們等于掉進(jìn)人家的圈套。我們中國又什么東西造不出來?是我們蒸蒸日上,高興之余,就沒有時間去想一想古人的話,防人之心不可無,只想害人之心不可有。
美國要打擊我們,他就得看你缺什么,什么好就踩什么,其實他們的傷害也不小的。他們直到今天,真的是害怕我勤勞的中國人,很多東西科技,都超過了他們,羨慕嫉妒恨,再不打壓中國,美國有的人會發(fā)瘋了,川建國就是已經(jīng)瘋了。
至于光刻機(jī)那只是時間的問題,大一點芯片我們國家一直都有國產(chǎn)貨,以前八十年代四川青川14信箱的XG牌,上海半導(dǎo)體16廠的SL集成電路等等,那不是芯片是什么?只不過我們在芯片領(lǐng)域停止了前進(jìn),要復(fù)興也是很容易的,因為我們國家強(qiáng)大起來了,要錢有要人才也有,困難是暫時的。
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