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高速超精密激光干涉儀有什么用？

高速超精密激光干涉儀，就是為了實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)在光刻過程中，對晶圓、物鏡系統(tǒng)、工作臺位置的超精準(zhǔn)定位。如果沒有配套的激光干涉儀，國產(chǎn)光刻機(jī)等設(shè)備的調(diào)試、生產(chǎn)工作就無法進(jìn)行?？梢哉f，該設(shè)備的核心技術(shù)突破，也是實(shí)現(xiàn)高端光刻機(jī)設(shè)備國產(chǎn)化的先前條件。

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