大家好，今天小編關(guān)注到一個(gè)比較有意思的話題，就是關(guān)于精密紫外燈價(jià)格的問(wèn)題，于是小編就整理了1個(gè)相關(guān)介紹精密紫外燈價(jià)格的解答，讓我們一起看看吧。

中國(guó)研制出世界上首臺(tái)用紫外光源實(shí)現(xiàn)了22納米分辨率的光刻機(jī)，在世界上屬于什么水平？

魂舞大漠注意到了11月29日的消息，一內(nèi)行有這樣的評(píng)述，實(shí)事上，又一顆大白菜又被兔子給拱了。呵呵，我們高興。有一門外漢卻說(shuō)了，這個(gè)只是實(shí)驗(yàn)品，用于芯片廠的我們有嗎？還沒(méi)有高精度鏡頭，也沒(méi)有高精度對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，精度只是阿斯麥的十萬(wàn)分之一，可是我們看到，中芯國(guó)際訂購(gòu)的7納米級(jí)EUV明年就到貨了呢，噫，向來(lái)依據(jù)“瓦納森協(xié)定”，這種光刻機(jī)可是對(duì)我嚴(yán)格禁止出口的，這又是怎么回事？美國(guó)揮動(dòng)制裁大棒，制裁中興，不過(guò)眼巴前發(fā)生的事呀，讓我們通過(guò)實(shí)事，來(lái)戳穿一些謊言，一觀實(shí)事真相如何？先來(lái)理清這位門外漢的迷霧，他說(shuō)的這些，對(duì)我們來(lái)說(shuō)都有了，技術(shù)上在國(guó)際上領(lǐng)了先，且領(lǐng)先不是一星半點(diǎn)，只是他根本不懂，人云亦云罷了。僅光電所在國(guó)際上申請(qǐng)的專利就有4項(xiàng)，其它4項(xiàng)已被人申請(qǐng)。通過(guò)研發(fā)，所可喜的是，人才隊(duì)伍已是兵強(qiáng)馬壯，技術(shù)上撥開了迷霧，已來(lái)到了一個(gè)大的突破期。光電所的精英們說(shuō)了，可以保證，下一步就是彎道超車的問(wèn)題。好了，下面就讓我們來(lái)做番梳理。

▲名字之下。藏多少貓膩，英文不好，不關(guān)注科技者，不知ASML在我們這就叫阿斯麥，而艾司摩爾正是臺(tái)灣的叫法，其臺(tái)積電占有5%的股權(quán)。韓國(guó)三星3%，英特爾有15%，荷蘭這家公司，不過(guò)，大國(guó)協(xié)作的產(chǎn)物，什么美國(guó)的光源，德國(guó)蔡司鏡頭等等，他們都是該公司的股東，因此成就了ASML的名頭。由于很多技術(shù)突破了物理的極限，使用的名詞，不為尋常百姓所熟知，突破了極限，要的是精度，芯片體積才可以造的越來(lái)越小呀。中國(guó)每突破一極限，美國(guó)為代表的西方國(guó)家，即開始對(duì)中國(guó)出口相關(guān)產(chǎn)品，成為規(guī)律，誰(shuí)不掙錢都著急，2015年剛說(shuō)要將65納的設(shè)備給我們，今年阿斯麥就宣布，7納的光刻機(jī)對(duì)中國(guó)一視同仁，嘻嘻，謝謝您的仁慈，誰(shuí)都能聽出來(lái)，中國(guó)沒(méi)有的話，實(shí)事上根本不可能，不少噴子納悶極了，我們的進(jìn)步，有這么快？是的，由不得你眨下眼睛。國(guó)際上現(xiàn)在最先進(jìn)的芯片也就是這個(gè)水平了，中興還是回國(guó)創(chuàng)業(yè)吧。

▲新聞背后。光刻機(jī)是集成電路產(chǎn)業(yè)的一顆最璀璨的明珠，閃爍著高難問(wèn)的光輝，如同航空產(chǎn)業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)一樣，由于技術(shù)門檻非常之高，一般人拱不動(dòng)的，日本由于收購(gòu)德國(guó)亞深，掌握了深紫外光源技術(shù)和物鏡技術(shù)，其尼康和佳能也能做22納的水平，這些年還是發(fā)了些財(cái)?shù)?，所以每談及日本芯片，總有人投去羨慕的目光。我們收不動(dòng)，大約也只能自家研發(fā)，透過(guò)新聞報(bào)道，我們可以看到，我們走了一條不同的路，取得了更高的精度，有稱世界首臺(tái)用紫外光源實(shí)現(xiàn)22納的EUV，采取多次曝光技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)10納，我們不吹，10納以下是一個(gè)級(jí)別，所以7納亦可有望實(shí)現(xiàn)之。至少打破了禁運(yùn)規(guī)則，他們?cè)傧胭嶅X，不得不重新審定，只是手里還有嗎？由此看來(lái)，人家比咱們有些人要明白，能賺則賺，這回中國(guó)先，要來(lái)幾臺(tái)？所以新聞?wù)f，可以達(dá)到一致的水平。年初要制裁，年底被打臉，這一掌摑出了深紫之血。

▲中國(guó)光刻。我們使用的光源，為固態(tài)深紫外，不同于阿斯麥的離子束，我們的優(yōu)點(diǎn)比較細(xì)，可使設(shè)備小巧得多，成本還低。二看物鏡的鏡片，荷蘭使用的是磁流變和離子束，輔之以手工，加工慢，人工成本自然就高，我們則實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)。此二者都是日本根本不可能完成的。以現(xiàn)在的技術(shù)，產(chǎn)業(yè)以后，以其壽命長(zhǎng)，產(chǎn)率高，可以白菜價(jià)占領(lǐng)14納的市場(chǎng)。致于極紫外的，現(xiàn)在都在努力，據(jù)說(shuō)0.1納的鏡片，我們已攻克，上面鍍的一層原子膜，中國(guó)說(shuō)是第二，無(wú)人敢講第一。據(jù)悉日本不敵已敗走，阿斯麥為此正在吭哧憋肚。年初中芯花錢買來(lái)的7納EUV，每臺(tái)1.2億美刀，我們的量產(chǎn)后，不過(guò)千萬(wàn)級(jí)。請(qǐng)記住，2018年11月29日，這一天是有重大意義的，魂舞大漠去各大網(wǎng)站走了一遭，看到網(wǎng)友們無(wú)不為咱們?nèi)〉玫某删蜌g欣鼓舞。

你好，目前這臺(tái)光刻機(jī)能生產(chǎn)最高制程的芯片是10nm，而國(guó)外商用的最新技術(shù)是能生產(chǎn)7nm的；另外，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)只能蝕刻4寸的晶圓。荷蘭ASML的光刻機(jī)由于光源好，生產(chǎn)的晶圓尺寸能達(dá)到12寸，大的晶圓尺寸有利于批量生產(chǎn)降低單位成本?？偟膩?lái)說(shuō)，這臺(tái)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)和國(guó)外最新的技術(shù)還有差距，但是也已經(jīng)很先進(jìn)了，排進(jìn)全球前五沒(méi)問(wèn)題。至于趕超，就只能寄希望于天才科學(xué)家的出現(xiàn)了，我們?cè)谘邪l(fā)新技術(shù)，別人也在研發(fā)，不是那么容易的。目前荷蘭在這個(gè)領(lǐng)域有絕對(duì)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，美國(guó)日本尚且不能和他抗衡，何況我們。但是也不用灰心，就像坦克發(fā)動(dòng)機(jī)一樣，國(guó)產(chǎn)坦克發(fā)動(dòng)機(jī)雖然落后德國(guó)MTU 30年，但已經(jīng)是世界第二的水平了。

據(jù)光電所該項(xiàng)目的一個(gè)主要負(fù)責(zé)人所說(shuō)，這臺(tái)設(shè)備只是個(gè)原理機(jī)，跟市場(chǎng)上主流的ArF浸沒(méi)式光刻機(jī)在視場(chǎng)、成品率、套刻精度以及產(chǎn)率等方面都沒(méi)有可比性。該設(shè)備用于半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域以替代投影光刻的可能性也是幾乎沒(méi)有的，但可以用于半導(dǎo)體芯片以外用不起投影光刻的納米加工。這臺(tái)樣機(jī)設(shè)備可以對(duì)小批量、小視場(chǎng)（幾平方毫米）、工藝層少且套刻精度低、低成品率、小襯底尺寸（4英寸以下）且產(chǎn)率低（每小時(shí)幾片）的特殊納米器件進(jìn)行加工。

雖然這臺(tái)設(shè)備只是一臺(tái)原理機(jī)，在技術(shù)上還存在著局限，但對(duì)中國(guó)科研界來(lái)說(shuō)的確是個(gè)重大進(jìn)展?？紤]到目前表面等離子體技術(shù)的水平，這臺(tái)設(shè)備只可能做周期的線條和點(diǎn)陣，無(wú)法制作復(fù)雜的芯片所需的圖形。以光電所現(xiàn)有的技術(shù)實(shí)力，芯片制造所需的超高精度對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，亦是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。所以，在短期內(nèi)，這項(xiàng)技術(shù)是無(wú)法應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造的；現(xiàn)階段的應(yīng)用前景僅限光柵、光子晶體一類的周期性結(jié)構(gòu)；不過(guò)這些器件本身也已相當(dāng)重要，尤其在軍事應(yīng)用領(lǐng)域。

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